仪器最大允许误差范围：thickness≤1.0um，restivit

仪器最大允许误差范围：thickness≤1.0um，restivity≤5%；

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ช่วงอุปกรณ์ผิดพลาดสูงสุดที่อนุญาต: หนา≤ 1.0um, restivity ≤ 5%

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

เครื่องดนตรีสูงสุดช่วงข้อผิดพลาดที่อนุญาต: thickness≤1.0um, restivity≤5%;

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เครื่องมือข้อผิดพลาดในช่วงสูงสุดที่อนุญาตโดย restivity < < : 1.0um , 5% ; ; ; ; ; ; ;